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深圳技术大学气浮平台交付

来源: 时间:2021-06-07 22:00:35 浏览次数:

RUM气浮光学平台 尺寸1500*900*800mm


精密气浮光学平台 RUM系列


RUK系列气浮光学平台是一款超高性能隔振光学平台。隔振器采用进口精密超薄复合材料气囊、带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术,隔振性能优良,系统更稳定。RUM系列光学平台具有自动水平,自动充气,噪声低等特点。关键气动执行元件均采用进口原件。


应用领域:


精密光学实验、显微成像、医疗生物


光路测试、光学测量、激光干涉、精密检测


对振动具有较高的要求设备


平台特性:


※优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。
※自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品,标配优质超静音压缩机。


※台板采用钢制芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为icr17优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果,面板具有M6螺孔阵列,易于固定光学元件。
※工作压力为0.350.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用

技术参数;



※台面厚度及结:上台板厚度6mm 井子或者米子结构

※台面材质:高导磁不锈钢

※台面布孔:公制M6  间距25*25mm

※平面度:< 0.05mm/m2
※表面粗糙度:<0.8μm 台面亚光处理
※固有频率:x方向:1.2Hz2.0Hz  y方向:1.2Hz2.0Hz

※隔振效率:x方向<5Hz时:88%94%    y方向<5Hz时:86%92%

                        x方向<10Hz时:92%98%     y方向<10Hz时:90%95%

※平台振幅:< 1.2μm

※调节方式:自动调平 气动元件执行

※隔振方式:空气弹簧 隔振橡胶
※空气源:静音空气压缩机 45dB 可外接

※工作压力为:0.35-0.6Mpa

※重复定位精度:±0.05mm



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